Značilnosti senzorjev tlaka iz difuznega silicija

Značilnosti senzorja tlaka iz difuznega silicijaUPX19

1. Primeren je za izdelavo oddajnikov majhnega obsega: piezorezistentivni učinek upora silicijevega čipa, občutljivega na silo, nima mrtve cone v delu nizkega dosega blizu ničelne točke, obseg senzorja tlaka pa je lahko kot majhna kot nekaj Kpa.

2. Visoka izhodna občutljivost: Faktor občutljivosti odpornosti proti deformaciji silicija je 50- do 100-krat večji kot pri kovinskih merilnikih deformacije, zato je občutljivost ustreznega senzorja zelo visoka, splošni izhodni razpon pa je približno 100 mv. Zato ni posebnih zahtev za vmesniško vezje in je bolj priročno za uporabo.

3. Visoka natančnost: ker senzorjev občutek, občutljivo pretvorbo in zaznavanje izvaja ista komponenta, ni vmesne povezave pretvorbe, ponovljivost in histerezna napaka pa sta majhni. Ker je sam monokristalni silicij zelo tog in je deformacija majhna, je zagotovljena dobra linearnost.

4. Ker je enospolna deformacija dela tako nizka kot vrstni red mikrodeformacije, je največji premik elastičnega odrezka v vrstnem redu podmikronov, tako da ni obrabe, utrujenosti, staranja in življenjska doba je dolga kot 1×103 tlačni cikel, s stabilno zmogljivostjo in visoko zanesljivostjo.

5. Zaradi odlične odpornosti silicija na kemično korozijo se lahko tudi neizolirani razpršeni silikonski tlačni senzorji v veliki meri prilagodijo različnim medijem.

6. Ker čip uporablja integriran proces in nima delov za prenos, je majhen in lahek.

Za podrobnosti se obrnite naStella Meng.